TIẾNG VIỆT | ENGLISH

            Hôm nay là:

Trang chủ Sản phẩm Sản phẩm của Công ty SST International

Máy hàn phiến - Mô-đen 3180/3190

THIẾT BỊ HÀN PHIẾN ĐỘ TIN CẬY CAO

Mô-đen 3180 và 3190 là thiết bị hàn phiến có thể lập trình được do SST International phát triển đặc biệt dùng cho công nghệ hàn phiến silicon, GaAs và phiến thủy tinh với đường kính lên tới 6” (150 mm). Cả hai thiết bị này đều được trang bị phần điều khiển nhiệt độ tự động, cực kỳ chính xác trong dải nhiệt độ đến 500 °C (1000°C – tùy chọn). Hệ thống kẹp dùng áp suất phẳng, nhẵn đảm bảo tác dụng một áp lực đồng đều 750 pounds (350 kg) lên trên hai phiến linh kiện khi hàn. Dòng 3190 cho phép hàn anốt với bộ nguồn cao thế và buồng hàn kín. Mức chân không xuống dưới 50 millitorr là tính năng của dòng 3180 nhờ cơ chế bơm cơ học hai giai đoạn. Mức chân không xuống tới dưới 1 x 10-6 torr là tính năng của dòng 3190 nhờ bơm nhiệt độ thấp cộng với bơm sơ cấp không dầu. Đồng hồ chân không kỹ thuật số cho phép hiển thị và dễ dàng điều chỉnh giá trị chân không. Thiết bị được điều khiển bởi hệ thống nhúng chạy trên nền Windows. Nhiều chương trình điều khiển được tạo lập và lưu trữ trong bộ điều khiển. Dữ liệu chạy máy được lưu giữ để kiểm soát chất lượng và phân tích sau này. Quý khách có thể lựa chọn khả năng kết nối internet và intranet cho phép điều khiển từ xa, bảo trì và sửa chữa khi cần.

    ỨNG DỤNG TIÊU BIỂU:

    • Silicon to Glass Wafer Bonding
    • MEMS Wafer Bonding
    • Pressure Sensor Bonding
    • Anodic Wafer Bonding

HỆ THỐNG ĐIỀU KHIỂN

Mô-đen 3180 và 3190 sử dụng hệ thống điều khiển logic móc nối một cách thông minh với bộ điều khiển nhiệt độ và áp suất trên nền hệ điều hành Windows. Mọi thông số cur quy trình được điều khiển một cách tự động với chương trình do chính người vận hành thiết lập cho phù hợp với từng ứng dụng. Nhiều chu trình gia nhiệt, ủ nhiệt, chân không, áp suất, lực kẹp cơ học khi hàn và nguồn cấp cho quá trình hàn anốt được thiết lập một cách dễ dàng. Thông số hoạt động của lò được điều khiển một cách liên tục và chế độ cảnh báo được tích hợp sẵn cho người vận hành biết ngay khi hệ thống gặp sự cố. Giao diện người dùng thân thiện thông qua màn hình màu cảm ứng touch-screen. Khi tiến hành bảo trì hệ thống bàn phím máy tính được bố trí phía sau cho phép tiến hành các thao tác một cách thuận tiện. Mọi thông số của các quy trình cũng như kết quả được ghi lại trong đĩa cứng của hệ thống.

CÁC TÙY CHỌN CỦA MÔ-ĐEN 3180 và 3190

    Khay chứa bằng vật liệu graphit (xem ảnh)
    Vùng nhiệt độ mở rộng (1000°C)
    Bộ phân tích khí dư (RGA)
    Bộ ghi nhiệt độ nhiều vùng
    Bộ ghi độ ẩm nhiều mức
    Kết nối Internet
    Bơm/làm lạnh dùng Chiller
    Đèn cây
    Máy in màu
    Chứng nhận CE cho thị trường châu âu




TÍNH NĂNG KỸ THUẬT*

 

MODEL 3180

MODEL 3190

Kiểu bơm chân không

Cơ học

Nhiệt độ thấp

Mức chân không thấp

50 millitorr (.05 mbar)

1 x 10-6 torr (1 x 10-6 mbar)

Nhiệt độ hoạt động

Từ nhiệt độ phòng tới 500°C (1000°C tùy chọn)

Vùng làm việc

6 in (150 mm) diameter

Áp suất kẹp cơ khí

0 - 750 lb (0 - 350 kg) có thể điều chỉnh được

Thế khi hàn tĩnh điện

Không áp dụng

Thường từ 0 - 5000 V

Mức áp xuất của trương là cao nhất

50 psig (4.5 bar)

15 psig (2 bar)

Quá trình nạp khí
(3-4 giai đoạn)

Cần phải có N2 khí (Ar, He, tạo khí)
áp suất ở 90 psi (7 bar)

Nguồn

208-240 volts, 60 amps, 60/50 Hz, 1 phase, 5 kilowatt average, 15 kilowatt peak

Yêu cầu nước làm lạnh

2 GPM (8 lpm) @ 20-25 °C, 2 kilowatt capacity minimum

Yêu cầu khí nén

đường kính trong ống dẫn ¼” (6.5 mm)

Chiều cao đế giữ mẫu

37” (95 cm) điều chỉnh được

Kích thước
(W x D x H)

58 x 54 x 53 in
(147 x 137 x 135 cm)

94 x 54 x 53 in
(239 x 137 x 135 cm)

Helium Compressor Size (W x D x H)

Không áp dụng

20 x 22 x 17 in
(50 x 57 x 43 cm)

Trọng lượng

1400 lb (650 kg)

2400 lb (1100 kg)

* Bản kỹ thuật này có thể thay đổi.

Top

Máy hàn phiến | Lò chân không / Lò áp suất | Gia công đế bằng vật liệu graphit (Graphite Machining)



Muốn biết thêm chi tiết, xin điện thư về sales@acrosemi.com
Liên lạc tại Việt Nam:
Ho Chi Minh Office
Phone: +84(8) 5446-4789
Email:
hcmc@acrosemi.com
Hanoi Office
Phone: +84(0) 91-225-7173
Email:
hanoi@acrosemi.com

© 2006-2010 AcroSemi Corporation. All rights reserved.