Thích hợp cho các viện nghiên cứu và các phòng thí nghiệm.
Kích thước đế từ rất nhỏ đến tấm silicon đường kính 150mm (6”) Cần điều khiển X-Y và bàn vi chỉnh theta (chỉnh méo) Mâm tải thủ công dễ dàng cho việc tải hay dỡ tải đế silicon Các chế độ chiếu sáng chân không/tiếp xúc Các thấu kính chuẩn trực dùng tia cực tím đề tăng độ phân giải khi quang khắc Bàn giảm chấn cho phép khử những rung động trong quá trình thao tác Rất dễ sử dụng Chi phí bảo trì thấp
Tùy chọn có sẵn:
Đồng chỉnh mặt dưới bằng hồng ngoại
Chiếu sáng dùng đèn gần tử ngoại NUV (bước sóng từ 280-350nmHg)
Mâm đỡ phiến (hai mâm) cho các phiến 4 inch
Vi chỉnh X-Y thủ công
Lựa chọn màn hình màu (CCTV) cho kính hiển vi MagnaView
Kích thước đế từ rất nhỏ đến tấm silicon đường kính 150mm (6”)
